国内企业首次向国际市场 出口集成电路用高纯度硅料

　　晋江新闻网6月12日讯 在国内集成电路产业链条中，上游集成电路材料对进口的依赖程度超过整体行业其他类别，几乎被国际厂商完全垄断，其中就包括重要的基础材料多晶硅。这样的情况正在被逐渐打破。昨日，江苏鑫华半导体材料科技有限公司发布消息，该公司已于5月初小批量往韩国出口集成电路用高纯度硅料，并已向国内部分晶圆加工厂批量供货。

　　这标志着国内部分企业集成电路用硅料已经达到国际一流质量标准，也是我国多晶硅制造企业首次向国际市场出口集成电路用高纯度硅料。该产品已通过客户验证并形成规模化销售，也打破长期以来国外高纯度材料垄断，填补该产业国内技术空白。

　　事实上，电子级多晶硅材料是集成电路的关键基础材料，电子级多晶硅是纯度最高的多晶硅材料。相对于太阳能级多晶硅的99.9999%纯度要求，电子级多晶硅的纯度要求达到99.999999999%(11个9)。类比来看，相当于在5000吨的电子级多晶硅中总的杂质含量不超过一枚1元硬币的重量。

　　事实上，国内巨大的集成电路消费与应用市场，也吸引着全球重要的集成电路上游厂商纷纷布局。

　　作为全球特种化学及先进材料解决方案的领先企业应特格(Entegris)，目前已经踏入包括泉州永春在内的国内市场。去年Entegris与福建博纯材料有限公司签署了合作协议，Entegris得以在本地生产专业的集成电路用的高纯度气体等产品，成为第一家能在本地生产特殊气体产品的国际材料公司。相关气体已经直接供应国内几大著名制造企业。

　　Entegris亚太全球销售副总裁兼中国区总经理李迈北告诉记者，2017年Entegris在中国市场的收入增长率几乎是全球的两倍，对总体业绩成长有重要贡献。Entegris在今年上海参展时公布的针对中国大陆地区的战略重点中也包括继续推进材料生产本地化的内容。

　　业内专家表示，在垄断程度最高的上游材料，国内厂商的每一次突破都能为国内产业带来更大的主动权，避免产业因为上游材料供给而断流。而在超高纯度单晶硅及相关气体材料方面，国内仍然需要突破者。

　　据了解，鑫华半导体公司第一条生产线的产能为5000吨，可保证国内企业三至五年内电子级多晶硅不会缺货，产品质量满足40nm及以下极大规模集成电路用12英寸单晶制造需求。同时，还将规划再上一条5000吨生产线，以更好地满足国际国内市场。

　　(记者_柯国笠)