全球先进集成电路半导体气体材料供应商 特殊气体材料项目在泉投产
晋江新闻网8月17日讯 15日，全球半导体气体材料最大供应商美国应特格有限公司(Entegris)与国内半导体材料高新技术企业博纯材料有限公司合作项目——半导体制造工艺中使用的特殊气体材料项目在泉州永春县顺利投产。
该项目将率先实现全球最先进的集成电路半导体注入材料的国内制造，也成为目前国内唯一半导体注入材料制造项目，将结束半导体气体注入材料极度依赖进口的局面。包括中芯国际、中国半导体行业协会、厦门联芯在内的国内集成电路半导体知名厂商出席该项目投产仪式。
据悉，该项目初期生产包括砷化氢、磷化氢在内的，用于半导体行业的注入气体，应特格将提供世界领先的半导体科技行业污染控制、关键材料处理、先进制程材料、制造与气体存储高尖端技术，博纯材料制造应特格的特殊气体产品。该合作旨在满足中国半导体行业和平板显示行业日益增长的需求，对应特格公司来说可以拓展国内巨大市场的业务，对国内厂商来说，缩短了供货周期。
“我们已经通知中国地区原有的、已经合作的半导体厂商这边新厂投入使用的消息，将来我们也打算以泉州工厂为中国地区供应半导体用气体材料，该工厂产能也将满足地区半导体现有发展产能至少到2022年。”应特格总经理Stuart Tison在接受采访时表示，博纯与应特格合作产品与全球其他地方品质一样。据悉，泉州合作的新工厂也将成为继韩国、美国工厂后，应特格半导体特殊气体全球供应的第三个工厂。
事实上，世界半导体行业高纯度气体材料中应特格处于高度垄断的地位。“应特格与博纯的合作是一个很好的、国内外合作的范例。”中国半导体协会信息交流部主任任振川表示，预计国内集成电路今年能够保持20%以上的增长，近年来上马的多个12英寸晶圆厂急需上游材料的补足。“我们期待更多的外资与国内企业合作，依然本着开放共享的原则。”
“此次合作是Entegris持续计划的一部分，通过本地化生产和技术支持可以更好地服务于中国客户，满足他们对于制造和工艺开发的需求。” Entegris首席运营官Todd Edlund在开幕活动上表示，“我们与博纯材料合作，为我们的特殊化学品在中国的生产建造出了世界一流的工厂。”
据悉，博纯材料泉州工厂位于永春县大荣村，占地55000m2(13.6亩)，包括两个2.3级危险品库房及20多个电子气体包装、纯化和合成工艺中心。该工厂可在国内制造世界上最先进的半导体离子注入材料。
(记者_柯国笠)
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